二重スリット法による贰鲍痴领域での物质光学定数の评価
- 2.3 量子物性（トポロジカル物質、熱電素子、機能物性など）
- 2.5 量子配線?エレクトロニクス
湯本 潤司
理学系研究科
特任研究员 东京大学特任教授
极短紫外（贰鲍痴)リソグラフィ―技术は次世代半导体プロセス技术の中核となりつつあり、半导体戦略上、重要な技术となっている。本リソグラフィ―では、波长13.5苍尘の贰鲍痴光が用いられているが、この波长域での金属、半导体、更には诱电体物质の十分な光学特性は得られていない。本研究では、二重スリット法によりこの波长域での光学定数评価技术を确立し、その知见を量子デバイス设计?开発に提供する。
右図：2重スリットの回折パターンから计算された厚さ165苍尘のアルミニウムを透过する贰鲍痴光の位相差と透过率
共同実施者
森田 悠介 助教
島田 紘行 特任研究員
島田 紘行 特任研究員
主な関连论文
D. Hirano、et al, Measurement of complex refractive index with tunable extreme ultraviolet high harmonic source, Optics Express 29, 15148 (2020).
主な特许
米国仮出愿済
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