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高速、かつ高精度にダイナミクスを制御する技术は、半导体製造装置や工作机械、鉄道や自动车、电力机器などの根干を支えています。私は、モータ构造最适化といった物理层から、制御理论?学习制御といった情报层までを一気通贯で研究开発し、电流制御?位置制御?温度制御?流体制御?プラズマ制御に水平展开しています。未来情报の活用と、データ駆动制御とモデル駆动制御の融合により、制御精度と生产性を両立させます。共同研究先と共に、半导体製造工程の前工程?后工程?実装工程の装置などに応用し、さらなる微细化に贡献します。